TESCAN AMBER
无漏磁超高分辨 SEM 与高精度镓离子 FIB 的集成
实现纳米材料精细制备、表面分析与三维重构的表征

TESCAN 无漏磁超高分辨 SEM 与高精度镓离子 FIB核心优势：

1. 超高分辨成像与分析

   • 搭载 BrightBeam™ 无漏磁 UHR-SEM 镜筒

2. 精准离子束加工

   • **离子束分辨率，支持低电压精准样品制备

3. 智能电子束刻蚀

   • 集成 DrawBeam® 电子束写入软件，支持多位置复杂自动刻蚀

4. 高效三维重构

   • 直观引导式工作流，新手用户亦可实现多模态 FIB-SEM 纳米级三维重构

5. 定位系统

   • SEM 实时大视野成像 + 三维防撞模型，快速锁定目标区域

6. 用户友好操作

   • Essence™ 模块化电镜软件，显著简化多用户实验室流程

TESCAN AMBERTESCAN 无漏磁超高分辨 SEM 与高精度镓离子 FIB
Perfect Integration of Stray-Field-Free UHR-SEM and High-Precision Ga-FIB
Comprehensive Nanomaterial Characterization via Precision Preparation, Surface Analysis & 3D Reconstruction

Key Advantages:

1. Ultra-High-Resolution Imaging & Analysis

   • Equipped with BrightBeam™ Stray-Field-Free UHR-SEM Column

2. Precision Ion Beam Processing

   • Superior ion beam resolution for accurate low-voltage sample preparation

3. Intelligent E-Beam Lithography

   • Integrated DrawBeam® patterning software for complex multi-site automated etching

4. Efficient 3D Reconstruction

   • Guided workflow enables nanoscale multimodal FIB-SEM 3D reconstruction, even for novice users

5. Safe Navigation System

   • Real-time large-FOV SEM imaging + 3D collision-avoidance model for rapid ROI targeting

6. User-Friendly Operation

   • Essence™ modular software streamlines workflows in multi-user environments

TESCAN 无漏磁超高分辨 SEM 与高精度镓离子 FIB技术规格优化与翻译

BrightBeam™ 无漏磁超高分辨 SEM 镜筒

(BrightBeam™ Stray-Field-Free UHR-SEM Column)

• 肖特基场发射电子枪
  Schottky FEG 

• 电磁-静电复合物镜
  Electromagnetic-electrostatic compound objective lens

• 镜筒内电子加速器
  In-column electron accelerator

• 镜筒内多模式 SE/BSE 探测器
  In-column multi-mode SE/BSE detectors

• 电子束参数
  Electron Beam Specifications

  • 着陆能量：50 eV–30 keV（减速模式下 <50 eV）
    Landing energy: 50 eV–30 keV (<50 eV in decel mode)

  • 探针电流：2 pA–400 nA（连续可调）
    Probe current: 2 pA–400 nA (cont. adjustable)

  • 束斑优化：电磁光阑控制
    Beam optimization: Electromagnetic aperture control

• 视野范围
  Field of View

  • 7 mm @ WD=6 mm | >50 mm @  WD
    *7 mm @ WD=6 mm | >50 mm @ Max. WD*

• 放大倍数：2–2,000,000×
  Magnification: 2–2,000,000×

TESCAN 无漏磁超高分辨 SEM 与高精度镓离子 FIBOrage 镓离子镜筒

(Orage Ga-FIB Column)

• 液态金属镓离子源
  Liquid metal Ga⁺ source (Min. guaranteed lifetime: 3000 μAh)

• 压电驱动 30 孔光阑变换器
  *Piezo-driven 30-aperture selector*

• 静电束闸 + 法拉第杯
  Electrostatic beam blanker + Faraday cup

• 离子束参数
  Ion Beam Specifications

  • 能量：500 eV–30 keV
    Energy: 500 eV–30 keV

  • 探针电流：1 pA–100 nA
    Probe current: 1 pA–100 nA

• 大视野：1 mm @ 10 keV
  Max. FOV: 1 mm @ 10 keV

FIB-SEM 几何关系

(FIB-SEM Geometry)

• SEM 工作距离（重合点）：6 mm
  Coincidence point SEM WD: 6 mm

• FIB-SEM 夹角：55°
  *FIB-SEM angle: 55°*

TESCAN 无漏磁超高分辨 SEM 与高精度镓离子 FIB分辨率性能

(Resolution Performance)

• 电子束分辨率
  Electron Beam Resolution

  • 1.5 nm @ 1 keV（无漏磁）

  • 1.3 nm @ 1 keV（减速模式）*

  • 0.9 nm @ 15 keV（无漏磁）

  • 0.8 nm @ 30 keV（无漏磁 STEM 模式）*

• 低真空模式
  Low Vacuum Mode

  • 1.8 nm @ 30 keV（GSD 探测器）*

  • 3.0 nm @ 3 keV（GSD 探测器）*

• 离子束分辨率：2.5 nm @ 30 keV
  Ion Beam Resolution: 2.5 nm @ 30 keV