TESCAN 超高分辨场发射扫描电子显微镜TESCAN Ultra-High Resolution Analytical FEG-SEM
产品型号： CLARA
简介介绍：TESCAN CLARA
分析型超高分辨场发射扫描电子显微镜
高效、准确和材料表征能力
详情介绍
设备名称TESCAN 超高分辨场发射扫描电子显微镜
TESCAN CLARA 分析型超高分辨场发射扫描电子显微镜
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BrightBeam™ 无漏磁镜筒：**复合透镜设计（分辨率：0.8 nm@30 keV STEM*）
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多信号协同探测：镜筒内SE/BSE双探测器系统 + 选配阴极荧光探测器
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智能操作平台：Essence™软件支持流程自定义与实时防碰撞系统
TESCAN 超高分辨场发射扫描电子显微镜突破性功能
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技术方向
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实现方案
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低电压高分辨
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• 着陆电压50 eV-30 keV（减速模式<50 eV*）
• 1.3 nm@1 keV（高真空模式）
• 电子束减速技术提升低能态信号灵敏度
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特殊材料观测
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• MultiVac™可变真空系统
• GSD探测器支持绝缘体/敏感样品原生形貌分析
• 免喷镀观测出气样品
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多维分析扩展
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• 开放端口支持拉曼光谱/原位拉伸台/加热台集成
• 连续切面成像（SBFI）解决方案
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TESCAN CLARA Ultra-High Resolution Analytical FEG-SEM
Redefining efficiency and precision in sub-nano material characterization
Proprietary Technologies
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BrightBeam™ Magnetic Field-Free Column: Patented electrostatic-electromagnetic lens (Resolution: 0.8 nm@30 keV STEM*)
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Multi-Signal Detection: In-lens SE/BSE detectors + optional cathodoluminescence detector
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AI-Driven Operation: Essence™ software with customizable workflows & 3D collision avoidance
Transformative Capabilities
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Innovation Area
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Technological Solution
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Low-Voltage Imaging
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• Landing energy 50 eV-30 keV (<50 eV* in deceleration mode)
• 1.3 nm@1 keV (HV mode)
• Beam deceleration for enhanced low-energy sensitivity
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Challenging Samples
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• MultiVac™ variable vacuum system
• GSD detector for insulating/beam-sensitive samples
• Non-coated observation of outgassing specimens
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Advanced Extension
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• Open ports for Raman/stretch-heating stages
• Serial block-face imaging (SBFI) solution
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