【Etch刻蚀】 - 深圳市瑞仁安信科技有限公司

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ICP-RIE Plasma Etcher感应耦合等离子刻蚀机

SI 500为研发和生产提供先进的电感耦合等离子体(ICP)工艺设备。它基于ICP等离子体源PTSA，动态温度控制的衬底电极，全自动控制的真空系统，...

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