产品资料
原子力显微镜Atomic Force Microscope
产品型号：NX20
简介介绍：

Park NX20，缺陷分析的选择 作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对样品进行缺陷检测。 而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20，这款精密 的大型样品原子力显微镜，凭借着出色的数据准确性，在半导体和超平样品行 业中大受赞扬。200mm样品全尺寸自动测量，无需人工操作。

详情介绍

 原子力显微镜Atomic Force MicroscopePark NX20 原子力显微镜：全能型纳米表征平台
满足多维测试需求
 原子力显微镜Atomic Force MicroscopePark NX20 提供全系列扫描模式，覆盖科研与工业领域的复杂表征需求。

核心分析功能
▸ 形貌分析

  • 真正非接触模式

  • 轻敲模式
    ▸ 电学性能

  • 导电AFM（ULCA/VECA）｜静电力显微镜（EFM）｜压电力显微镜（PFM）

  • 扫描电容显微术（SCM）｜开尔文探针显微术（SKPM）｜扫描电阻显微术（SSRM）

  • 扫描隧道显微术（STM）｜光电流显微术（Tr-PCM）
    ▸ 力学性能

  • 力调制显微术（FMM）｜力-距离（F-D）曲线｜力谱成像

  • 侧向力显微术（LFM）｜纳米压痕｜纳米刻蚀｜相位成像
    ▸ 热特性

  • 扫描热显微术（SThM）
    ▸ 磁特性

  • 磁力显微术（MFM）

原子力显微镜Atomic Force MicroscopePark NX20突破性硬件系统
1. 高精度扫描器

参数 XY扫描器 Z扫描器
类型 闭环压电堆栈平板扫描器 高强度导向扫描器
扫描范围 100/50/25 μm² (可选) 15 μm (可扩展至30 μm)
分辨率 0.003 nm 0.001 nm
位置控制/传感器 20位/24位 20位/24位
扫描速率 — >48 mm/s (共振频率>9 kHz)

2. 智能运动系统

  • 样品台：XY行程150 mm（可扩至200 mm），Z行程25 mm

  • 定位精度：

    • XY马达：分辨率1 μm｜重复精度2 μm

    • Z马达：分辨率0.1 μm｜重复精度1 μm

  • 编码器定位：全自动载台，重复定位误差<0.15%

  • 自动多点扫描流程：成像→抬针→移台→进针→复扫

3. 超灵敏检测

  • 24-bit信号分辨率XYZ传感器

  • 同轴光路设计：840×630 μm视场 + 500万像素CCD

  • 物镜配置：10×（0.21 NA）/20×（0.42 NA）长工作距镜头

原子力显微镜Atomic Force MicroscopePark NX20智能控制与扩展
▸ 嵌入式数字信号处理

  • 三通道锁相放大器｜数字化Q控制｜探针弹性系数热校准
    ▸ 集成式信号端口

  • 7输入/3输出可编程端口 + 5路TTL信号（EOF/EPL/EOP等）
    ▸ 软件系统

  • SmartScan：脚本控制自动化工作流｜4096×4096像素数据采集

  • NXI：专业级AFM数据分析平台
    ▸ 扩展选项

  • 温控隔音罩｜液体池/探针｜温控台｜偏置模块｜信号采集模块

  • 真空吸附样品台（兼容Φ150/200 mm样品）

Park NX20 Atomic Force Microscope: Versatile Nanoscale Characterization Platform

Comprehensive Measurement Capabilities
Park NX20 delivers a complete suite of scanning modes for complex R&D and industrial applications.

Core Analysis Functions
▸ Topography

  • True Non-contact Mode｜Tapping Mode
    ▸ Electrical Properties

  • Conductive AFM (ULCA/VECA)｜EFM｜PFM

  • SCM｜SKPM｜SSRM｜STM｜Transient Photocurrent Microscopy (Tr-PCM)
    ▸ Mechanical Properties

  • FMM｜Force-Distance (F-D) Curves｜Force Spectrum Imaging

  • LFM｜Nanoindentation｜Nanolithography｜Phase Imaging
    ▸ Thermal Properties

  • Scanning Thermal Microscopy (SThM)
    ▸ Magnetic Properties

  • Magnetic Force Microscopy (MFM)

Revolutionary Hardware System
1. High-Precision Scanners

Parameter XY Scanner Z Scanner
Type Closed-loop Piezostack Stage High-stiffness Guided Scanner
Scan Range 100/50/25 μm² (selectable) 15 μm (extendable to 30 μm)
Resolution 0.003 nm 0.001 nm
Control/Sensor 20-bit/24-bit 20-bit/24-bit
Scan Speed — >48 mm/s (Resonance >9 kHz)

2. Intelligent Motion System

  • Stage: XY travel 150 mm (200 mm optional), Z travel 25 mm

  • Positioning:

    • XY motors: 1 μm resolution｜2 μm repeatability

    • Z motor: 0.1 μm resolution｜1 μm repeatability

  • Encoder Positioning: <0.15% hysteresis error

  • Automated Multi-point Workflow: Scan→Lift→Move→Approach→Rescan

3. Ultra-Sensitive Detection

  • 24-bit XYZ position sensors

  • Co-axial optics: 840×630 μm FOV + 5MP CCD

  • Objectives: 10× (0.21 NA) / 20× (0.42 NA) long-working-distance

Smart Control & Expansion
▸ Embedded DSP

  • 3× Lock-in Amplifiers｜Digital Q-Control｜Thermal Probe Calibration
    ▸ Integrated I/O Ports

  • 7 programmable inputs / 3 outputs + 5 TTL signals (EOF/EPL/EOP, etc.)
    ▸ Software

  • SmartScan: Scriptable automation｜4096×4096 pixel data acquisition

  • NXI: Professional AFM analysis suite
    ▸ Expansion Options

  • Thermo-acoustic enclosure｜Liquid cells/probes｜Heating stage

  • Bias modules｜Signal acquisition units

  • Vacuum sample chuck (Φ150/200 mm compatible)


粤公网安备 44030702002241号