产品资料
ASM固晶机贴片机粘片机Die Bonder
产品型号:AD838L-G2
简介介绍:

ASM固晶机AD838L-G2在半导体封测生产中应用于高精度固晶行业如光电封装如光模块,MEMS等COB,COC工艺

详情介绍

ASM AD838L-G2 双点胶高精度固晶机

核心技术突破

  1. 精度

    • ±10μm @3σ 固晶精度

    • 智能整体对准:大尺寸面板(300×100mm)全域变形补偿

  2. 双点胶

    点胶模式 应用价值
    同步双胶喷射 银浆+绝缘胶同步施胶,效率↑40%
    分时复合点胶 解决散热与绝缘矛盾(车规功率模块)
  3. 陶瓷基板专精

    • 直接进料机构:支持Al₂O₃/AlN基板(厚度0.12-3mm)

    • 砧座压力自补偿:±1%压力波动控制,防芯片碎裂

关键参数

项目 规格
产能 14,000 UPH(0.5×0.5mm芯片)
芯片尺寸 0.15×0.15mm ~ 10.16×10.16mm
固晶压力 30-300g可编程(分辨率±0.5g)
基板尺寸 60×60mm ~ 300×100mm(厚度0.12-3mm)
晶圆兼容 8英寸(带扩展环)/6英寸(夹具)
点胶精度 ±3%胶量控制(50-500μm焊盘)
设备尺寸/重量 1930×1440×2080mm / 1220kg

ASM AD838L-G2 Dual-Dispensing Precision Die Bonder

Core Innovations

  1. Industry-Leading Precision:

    • ±10μm @3σ placement accuracy (MIL-grade)

    • Intelligent Global Alignment: Warpage compensation for 300×100mm panels

  2. Dual-Dispensing Revolution:

    Dispensing Mode Value Proposition
    Synchronous Dual-Jet Silver paste + epoxy co-dispensing (↑40% efficiency)
    Time-Share Hybrid Resolves thermal/insulation conflict (automotive modules)
  3. Ceramic Substrate Expertise:

    • Direct feeding: Al₂O₃/AlN substrates (0.12-3mm thick)

    • Self-compensating anvil: ±1% force control prevents die cracking

Technical Specifications

Parameter Value
Throughput 14,000 UPH (0.5×0.5mm die)
Die Size Range 0.15×0.15mm ~ 10.16×10.16mm
Bond Force 30-300g programmable (±0.5g)
Substrate Size 60×60mm ~ 300×100mm (0.12-3mm thick)
Wafer Compatibility 8" (expander) / 6" (clamp)
Dispensing Accuracy ±3% volume control (50-500μm pads)
Dimensions/Weight 1930×1440×2080mm / 1220kg

粤公网安备 44030702002241号