Park全自动晶圆检测原子力显微镜Park Automated AFM System
产品型号：NX-Wafer
简介介绍：
详情介绍
Park全自动晶圆检测原子力显微镜Park Automated AFM System
» 核心突破：亚埃级粗糙度测量（噪声<0.5 Å）+ 串扰消除技术
核心参数矩阵
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模块
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200mm系统
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300mm系统
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运动平台
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行程：275×200 mm
分辨率：0.5 µm
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行程：400×300 mm
分辨率：0.5 µm
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扫描性能
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范围模式：
• 大：100×100 µm (0.15nm)
• 中：50×50 µm
• 小：10×10 µm
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同左
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空间规格
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外形：2732×1100×2400 mm
重量：2110 kg
工作区：3300×1950 mm
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外形：3486×1450×2400 mm
重量：2950 kg
工作区：4770×3050 mm
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ParkNX-Wafer Automated AFM System
Sub-angstrom wafer metrology with <0.5 Å noise floor and crosstalk cancellation
Revolutionary Technology
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Module
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200mm System
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300mm System
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Stage
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Travel: 275×200 mm
Res: 0.5 µm
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Travel: 400×300 mm
Res: 0.5 µm
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Scan Performance
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Modes:
• Large: 100×100 µm (0.15nm)
• Medium: 50×50 µm
• Small: 10×10 µm
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Identical
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Footprint
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Dimensions: 2732×1100×2400 mm
Weight: 2110 kg
Work area: 3300×1950 mm
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Dimensions: 3486×1450×2400 mm
Weight: 2950 kg
Work area: 4770×3050 mm
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