产品资料
蔡司GeminiSEM系列场发射扫描电镜ZEISS GeminiSEM
产品型号：560 /460/360
简介介绍：

详情介绍

蔡司GeminiSEM系列场发射扫描电镜核心技术对比

核心特性 GeminiSEM 560 (Gemini 3型) GeminiSEM 460 (Gemini 2型) GeminiSEM 360 (Gemini 1型)
光学系统 Nano-twin物镜 + 智能光路调节 双聚光镜系统 单聚光镜系统
技术定位 亚纳米表面灵敏度表征工具 高通量成像与分析解决方案 跨样品类型基础测试平台
独特优势 全工况超高分辨率 独特衬度成像能力 低电压高分辨率 + 原位拓展接口
分辨率
▪ 30 kV (STEM) 0.4 nm 0.6 nm 0.6 nm
▪ 15 kV 0.5 nm 0.7 nm 0.7 nm
▪ 1 kV (TD模式) 0.7 nm 1.0 nm 1.0 nm
▪ 1 kV (标准模式) 0.8 nm 1.1 nm 1.2 nm
▪ 500 V - 1.5 nm -
Inlens BSE分辨率 1.0 nm@1kV 1.2 nm@1kV 1.2 nm@1kV
NanoVP模式(30 Pa) 1.4 nm@3kV
1.0 nm@15kV 		1.4 nm@3kV
1.0 nm@15kV 		1.4 nm@3kV
1.0 nm@15kV
探针束流 3 pA - 20 nA
(100 nA选配) 		3 pA - 40 nA
(100/300 nA选配) 		3 pA - 20 nA
(100 nA选配)
视野 高分辨模式：1.6 mm@1kV, WD=7mm
概览模式：130 mm 		5 mm@5kV, WD=8.5mm 5 mm@5kV, WD=8.5mm
放大倍率 1 - 2,000,000× 8 - 2,000,000× 8 - 2,000,000×
加速电压范围 0.02 - 30 kV
分析分辨率 - 2.0 nm@15kV, 5nA, WD=8.5mm -

技术声明

  1. 分辨率数据基于*终安装验收测试（1kV/15kV高真空条件）

  2. TD：Through-the-Lens检测器模式

  3. NanoVP：可变压力纳米分析模式

(ZEISS Technical Standard)

ZEISS GeminiSEM Series Comparative Specifications

Core Feature GeminiSEM 560 (Gemini 3) GeminiSEM 460 (Gemini 2) GeminiSEM 360 (Gemini 1)
Optics Nano-twin objective + Adaptive Optics Control Dual condenser system Single condenser system
Positioning Ultimate sub-nm surface sensitivity High-throughput imaging & analysis Cross-application testing platform
Key Advantage UHR under all conditions Unique contrast imaging LV-HR + in-situ extension interface
Resolution
▪ 30 kV (STEM) 0.4 nm 0.6 nm 0.6 nm
▪ 15 kV 0.5 nm 0.7 nm 0.7 nm
▪ 1 kV (TD mode) 0.7 nm 1.0 nm 1.0 nm
▪ 1 kV (Standard) 0.8 nm 1.1 nm 1.2 nm
▪ 500 V - 1.5 nm -
Inlens BSE Res. 1.0 nm@1kV 1.2 nm@1kV 1.2 nm@1kV
NanoVP™ (30 Pa) 1.4 nm@3kV
1.0 nm@15kV 		1.4 nm@3kV
1.0 nm@15kV 		1.4 nm@3kV
1.0 nm@15kV
Probe Current 3 pA - 20 nA
(100 nA opt.) 		3 pA - 40 nA
(100/300 nA opt.) 		3 pA - 20 nA
(100 nA opt.)
Max FOV HR: 1.6 mm@1kV, WD=7mm
Overview: 130 mm 		5 mm@5kV, WD=8.5mm 5 mm@5kV, WD=8.5mm
Magnification 1 - 2,000,000× 8 - 2,000,000× 8 - 2,000,000×
Accelerating Voltage 0.02 - 30 kV
Analytical Res. - 2.0 nm@15kV, 5nA, WD=8.5mm -

粤公网安备 44030702002241号