日立场式场发射扫描电镜Hitachi Field Emission SEM
产品型号：SU5000
简介介绍：操作高效便捷: 界面更加直观，仅需要“点击”即可得到图像。
超前的电脑辅助技术将电镜的操作与控制提升到一个新水平。
详情介绍
日立场发射扫描电镜 FE-SEM
Hitachi Field Emission SEM
Ultra-High Resolution Imaging & Multi-Modal Analysis
核心性能优化表
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参数类别
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技术规格
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行业优势
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电子光学系统
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二次电子分辨率
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2.0 nm @ 1 kV (TLD顶位探测器)
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低电压成像
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100 V (PD-BSD探测器)
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非导电样品无荷电效应
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束流范围
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1 pA - 200 nA
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兼顾成像与微区分析
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真空系统
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低真空模式
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10-300 Pa (UVD探测器)
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生物/含水样品原生态观察
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样品室尺寸
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Ø200×80H(mm)
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兼容晶圆碎片/封装器件
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扩展分析功能
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标配探测器
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PD-BSD（五分割半导体）
UVD（低真空探测器）
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多信号同步采集
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选配模块
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减速模式 (TLD+减速透镜)
EBSD/WDS/EDS
空压机集成套件
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分辨率→1.4nm@1kV
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