日立扫描电子显微镜Hitachi scanning electron microscope
产品型号：FlexSEM1000II
简介介绍：兼具台式电镜的简单快捷，图像分辨率高达4 nm。
同时具有高品质图像性能和更加完善的自动化功能，
可满足更广大用户的需求。
详情介绍
日立 FlexSEM 1000 II 可变压力扫描电镜：智能高效的实验室解决方案
核心优势
▸ 台式设计 · 全尺寸性能
突破性集成可变压力（VP）技术，**在紧凑型电镜中实现非导电样本免处理直接观测，消除喷金预处理步骤。
▸ 4 nm 高分辨成像
电子光学系统 + 低像差物镜 + 枪式偏压系统，在全压范围（真空至可变压力）及全加速电压下保持分辨率稳定性。
▸ 零妥协的经济性
热场发射电子源（低能耗）结合自清洁光路设计，降低维护成本，日均能耗比传统电镜低40%。
技术亮点
|
模块
|
技术特性
|
|
电子光学系统
|
新型磁透镜列阵｜高灵敏度超变压检测器｜自适应电子束校准
|
|
信号检测
|
双模式一体化探测器（SE/BSE）｜低噪信号放大器｜实时电荷中和功能
|
|
操作设计
|
10英寸触控屏｜一键压力切换（5-500 Pa）｜自动束斑优化｜防震紧凑机身（60×50 cm）
|
专业应用覆盖
关键参数
|
类别
|
规格
|
|
电子源
|
热场发射（肖特基枪）
|
|
分辨率
|
4 nm (高真空)｜15 nm (可变压力)
|
|
放大倍数
|
5× ~ 300,000×
|
|
探测器
|
二次电子（SE）｜背散射电子（BSE）
|
|
样品室
|
Ø 150 mm 载台｜8轴电动控制
|
|
压力适应性
|
高真空至 500 Pa
|
Hitachi FlexSEM 1000 II VP-SEM: Intelligent Lab Solution
Key Advantages
▸ Benchtop Size, Full-Featured Performance
Integrated Variable Pressure (VP) technology enables direct observation of non-conductive samples without coating – a first for compact SEMs.
▸ 4 nm High-Resolution Imaging
Proprietary electron optics + low-aberration objective lens + gun bias system maintain resolution stability across all pressure modes (HV to VP) and accelerating voltages.
▸ Cost Efficiency Without Compromise
Thermionic emission source (low power) + self-cleaning column design reduce maintenance costs with 40% lower daily energy consumption vs conventional SEMs.
Breakthrough Technologies
|
Module
|
Innovations
|
|
Electron Optics
|
New magnetic lens array｜Hypressure detector｜Adaptive beam calibration
|
|
Signal Detection
|
Dual SE/BSE detector｜Low-noise amplifier｜Real-time charge neutralization
|
|
Operational Design
|
10" touch panel｜One-click pressure switching (5-500 Pa)｜Auto beam optimization｜Shock-absorbing compact body (60×50 cm)
|
Applications
-
Materials Science: Non-metallic inclusion analysis｜Surface roughness quantification｜Nanostructure characterization
-
Industrial QA: Metallurgical defect inspection｜Polished surface scratch detection｜IC failure analysis
-
Life Science: Hydrated biological sample imaging｜3D plant tissue reconstruction
Specifications
|
Category
|
Parameters
|
|
Electron Source
|
Thermionic Emission (Schottky)
|
|
Resolution
|
4 nm (HV)｜15 nm (VP)
|
|
Magnification
|
5× ~ 300,000×
|
|
Detectors
|
SE｜BSE
|
|
Stage
|
Ø 150 mm｜8-axis motorized control
|
|
Pressure Range
|
High vacuum to 500 Pa
|
