在线真空焊接炉甲酸炉氢气炉Vacuum Soldering System
产品型号：KD-V400
简介介绍：在线真空焊接炉甲酸炉氢气炉KD-V400应用于IGBT,IPM模块产品
详情介绍
KD-V400 三区独立真空焊接炉
核心突破
▸ 零空洞焊接：芯片焊区空洞率 ≤2%（10×10 mm²）｜单空洞 ≤1%
▸ 三区独立控制：预热/回流/冷却区 独立真空腔（≤1 mbar）｜独立温控｜独立抽气（100 m³/h×3）
▸ 极限温控：±1℃ 精度｜升温/降温速率 ≥3℃/s｜400℃高温焊接
颠覆性技术架构
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系统
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行业开创设计
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热管理
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三套独立加热平台（紫铜镀镍）｜双区载台（280×190 mm×2）｜±2%全域温均（>200℃）
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真空模块
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四油泵联动作业（总抽速300 m³/h）｜冷壁式水冷腔体｜甲酸泄露实时报警
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气氛控制
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N₂/H₂混合气｜甲酸蒸汽｜无助焊剂工艺｜抗气流扰动设计（焊接零偏移）
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传动系统
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自动化晶圆接驳（前贴片机+后工序）｜950±20 mm轨道｜载重20 kg｜UPH 8 min/片
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智能控制
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西门子PLC1200+研华工控机｜权限分级管理｜MES系统对接（温度/真空度/生产数据云端）
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防护
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双电动门防坠｜水压/气压自检｜超温双路断电｜光栅门禁｜ISO 14644-1洁净设计
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关键参数
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类别
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参数
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温控能力
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预热/回流区：20~400℃ (±1℃)｜冷却区：≥3℃/s
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真空性能
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三腔极限真空≤1 mbar｜2小时保压稳定性
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载台规格
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有效空间280×190×80 mm³×2｜兼容双面贴装
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产能效率
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节拍8 min/单元｜24小时连续生产
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气体系统
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N₂/H₂混合气｜甲酸蒸汽｜流量可编程
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电力配置
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三相380V 50/60Hz｜峰值36 kW｜工作12-15 kW
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设备尺寸
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4995×1945×1900 mm (L×W×H)
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半导体级应用场景
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功率模块：车规级IGBT｜SiC MOSFET银烧结｜GaN射频器件
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光电封装：激光巴条金锡共晶｜Micro LED巨量转移
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晶圆级封装：3D IC异构集成｜TSV硅转接板焊接
KD-V400 Inline Vacuum Soldering System: Triple-Zone Semiconductor Tool
Core Innovations
▸ Void-Free Bonding: ≤2% total void area (10×10 mm² die)｜Single void ≤1%
▸ Independent Triple Zones: Isolated vacuum chambers (≤1 mbar)｜Dedicated thermal control｜300 m³/h total pumping
▸ Extreme Thermal Control: ±1℃ accuracy｜Ramp rate ≥3℃/s｜400℃ soldering
Revolutionary Technology
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System
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Industry-First Design
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Thermal
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3 independent heated platens (nickel-plated copper)｜Dual zones 280×190 mm｜±2% uniformity
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Vacuum
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Quad oil pumps (100 m³/h each)｜Water-cooled cold wall｜Formic acid leak detection
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Atmosphere
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N₂/H₂ mix｜Formic acid vapor｜Flux-free process｜Anti-turbulence gas flow
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Automation
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Wafer handling automation｜950±20 mm rail｜20 kg load｜8 min UPH
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Smart Control
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Siemens PLC1200 + Advantech IPC｜Role-based access｜MES integration (cloud data)
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Safety
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Dual anti-drop doors｜Water/pressure self-check｜Overheat cutoff｜Laser scanner
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Specifications
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Category
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Parameters
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Temperature
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Preheat/Reflow: 20~400℃ (±1℃)｜Cooling: ≥3℃/s
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Vacuum
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≤1 mbar (all zones)｜2 hr stability
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Stage
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280×190×80 mm³×2｜Double-sided compatible
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Throughput
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8 min/cycle｜24/7 operation
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Gas System
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N₂/H₂ blend｜Formic acid vapor
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Power
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3-phase 380V 50/60Hz｜Peak 36 kW｜Avg 12-15 kW
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Dimensions
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4995×1945×1900 mm (L×W×H)
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Semiconductor Applications
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Power Modules: Automotive IGBT｜SiC Ag sintering｜GaN RF devices
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Photonics: Laser bar AuSn attach｜Micro LED mass transfer
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Advanced WLP: 3D IC integration｜TSV interposer bonding
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