产品资料
台式等离子清洗机Tabletop Plasma Cleaners
产品型号：Tergeo，Tergeo-Plus 和 Tergeo-EM
简介介绍：

美国Tergeo系列台式等离子清洗机是电镜样品杆等离子清洗机。专为实验室，研发和 小规模生产部门提供性价比高的小型等离子清洗设备，等离子强度探测器实时定量检测等离子状态。电镜样品杆等离子清洗机

详情介绍

Tergeo 科研级等离子表面处理系统

核心型号对比

参数 Tergeo-Plus Tergeo-EM Tergeo-Std
舱体尺寸 Ø160×280mm Ø110×280mm Ø110×280mm
专属应用 通用材料活化 TEM/SEM样品超净处理 常规清洗
舱体材质 高纯石英（99.99%） 无磁石英（Fe<1ppm） 高纯石英（99.99%）
射频功率 0-500W（可选） 0-300W（标配75W） 0-150W（标配75W）
气体控制 三路MFC（0-100sccm） 双路MFC（0-100sccm） 双路MFC（0-100sccm）
核心技术 等离子强度实时监测 零金属污染电极 外置电极防溅射设计

关键技术特性

  1. 无污染等离子源：

    • 外置电容耦合设计：电极不与等离子体接触，杜绝金属溅射污染

    • EM特制无磁舱体：保障TEM样品磁性纯度（Fe/K/Na＜1ppm）

  2. 精密工艺控制：

    • 三阶程序化清洗：每程序可设3个独立步骤（时间/功率/气体梯度）

    • 自动阻抗匹配：13.56MHz全功率范围反射波＜1%

  3. 智能气体管理：

    • MFC流量误差：±0.5sccm（0-100sccm范围）

    • 支持 Ar/O₂/H₂/N₂/Forming Gas 混合编程

Tergeo Scientific-Grade Plasma Cleaners

Model Comparison

Parameter Tergeo-Plus Tergeo-EM Tergeo-Std
Chamber Size Ø160×280mm Ø110×280mm Ø110×280mm
Specialized Use Material Activation Ultra-Clean TEM/SEM Prep General Cleaning
Chamber Material 99.99% Pure Quartz Non-Magnetic Quartz (Fe<1ppm) 99.99% Pure Quartz
RF Power 0-500W (Optional) 0-300W (75W Std) 0-150W (75W Std)
Gas Control 3× MFC (0-100sccm) 2× MFC (0-100sccm) 2× MFC (0-100sccm)
Key Innovation Plasma Intensity Sensor Metal-Free Electrodes External Electrode Design

Core Technologies

  1. Contamination-Free Plasma:

    • External Capacitive Coupling: Zero metal sputtering on samples

    • EM Non-Magnetic Chamber: Critical for TEM sample purity (Fe/K/Na<1ppm)

  2. Precision Process Control:

    • 3-Stage Programmable Cleaning: Independent time/power/gas per step

    • Auto Impedance Matching: Reflected power <1% at 13.56MHz

  3. Smart Gas Management:

    • MFC accuracy: ±0.5sccm (0-100sccm)

    • Supports Ar/O₂/H₂/N₂/Forming Gas blends



粤公网安备 44030702002241号