产品资料
Nordson Sonoscan D9650系列超声扫描显微镜C-SAM
产品型号：D9650 C-SAM
简介介绍：

D9650是现代超声波显微镜(AM)的标准，和上一代产品一样提供了较好的精度和稳健性，增加了一个合并 了PolyGateTM 技术和SonolyticsTM的改进型的电子与软件平台。D9650适用于故障分析、工艺开发、材料特 性描述及低容量生产环境

详情介绍


Nordson Sonoscan D9650 系列超声扫描显微镜
核心定位：多层结构高精度无损检测专家

  • PolyGate™ 多通道聚焦：

    • 支持 MultiGate™（多层同步成像）与 Probing-Gate™（定点分析）双模式

    • 单次扫描实现 1-100层 自动聚焦（每通道100个独立Gate™）

  • 智能扫描系统：

    • 线性电机驱动平台，定位精度 ±1μm

    • 兼容 JEDEC托盘 与 300mm晶圆（带塔式定位夹具）

  • Q-BAM™ 定量B扫描：

    • 虚拟横截面成像，深度分辨率 0.1μm

    • 实时显示缺陷极性/振幅/深度三维数据

核心规格

模块 参数
处理系统 64位Sonolytics 2™ 分析软件（Windows 10）
扫描范围 300×300mm（标准）/ 定制500×500mm
样品高度 100mm（塔式平台）
超声频率 10-230MHz（可选配400MHz高频探头）
扫描速度 200mm/s（高速模式）

应用场景

  • 封装缺陷检测：分层、空洞、裂纹（分辨率0.5μm）

  • 晶圆级分析：TSV通孔、微凸点、键合界面

  • 材料研究：复合材料分层、粘接完整性


Model: Nordson Sonoscan D9650 Ultrasonic Scanning Acoustic Microscope (C-SAM)
Positioning: Multi-Layer Non-Destructive Inspection Specialist

Breakthrough Technologies

  • PolyGate™ Multi-Layer Focus:

    • MultiGate™ (simultaneous multi-layer imaging) & Probing-Gate™ (targeted analysis)

    • 1-100 layer auto-focus per scan (100 Gates™/channel)

  • Precision Scanning System:

    • Linear motor stage (±1μm positioning accuracy)

    • Compatible with JEDEC trays & 300mm wafers (tower-mounted fixture)

  • Q-BAM™ Quantitative B-Scan:

    • Virtual cross-section with 0.1μm depth resolution

    • 3D defect polarity/amplitude/depth mapping

Key Specifications

Category Specification
Processing 64-bit Sonolytics 2™ (Windows 10 OS)
Scan Area 300×300mm (std) / 500×500mm (custom)
Max Sample Height 100mm (tower stage)
Ultrasound Frequency 10-230MHz (400MHz probe optional)
Scan Speed 200mm/s (high-speed mode)

Applications

  • Package Defects: Delamination, voids, cracks (0.5μm res.)

  • Wafer-Level Analysis: TSV, micro-bumps, bond interfaces

  • Material Research: Composite delamination, adhesion integrity





粤公网安备 44030702002241号