产品资料
Nordson March AP600等离子清洗机Plasma Cleaning Machine
产品型号：AP600Plasma
简介介绍：

AP-600是特别设计的均匀清洗和处理的等离子设备，具有易操作性强、可靠性高、低成本的优点。AP-600是完全独立的系统，需要很小的空间。等离子腔体、控制设备、13.56MHz的等离子发生器和自动匹配网络都安装在底盘上，一个连锁的门和面板提供了维护通道。等离子腔体由耐用的高品质铝做成的，并且带有铝支架。腔体里有多达7个可移动的、可调整的电源极或接地极支架，以适应更款范围的器件、组件或工装（Magazines、Trays或Boats）

详情介绍


Nordson March AP600 多功能等离子清洗系统

核心价值

  1. 全行业兼容性：

    • 半导体封装：芯片粘接前处理 → 附着力提升50%

    • 微电子组装：键合前清洗 → 焊线拉力强度↑30%

    • 医疗器件：生物相容性表面活化 → 符合ISO 10993

    • 先进封装：Underfill前处理 → 空洞率↓60%，填充高度均匀性±5%

  2. 智能气体控制：

    • 双通道MFC标准配置：精准调控Ar/O₂/H₂/He/氟化物（CF₄/SF₆）

    • 可选四通道升级：支持复杂气体配比工艺

  3. 等离子技术：

    模式 技术优势
    直接等离子 高能离子清洗顽固污染物
    下游等离子 无离子轰击，保护敏感器件

  4. 紧凑型一体化设计：

    • 真空泵/反应腔/13.56MHz射频源全集成，占地＜1m²

    • 模块化支架：水平/垂直双模式，适配异形工件

关键参数

项目 规格
射频电源 13.56 MHz ±0.1%（自动阻抗匹配）
真空度 ≤1×10⁻² Torr（旋片泵）
气体通道 2路标准（可扩展至4路）
操控界面 7英寸触摸屏 + 实时SPC数据导出
腔体容积 60L（中小批量理想选择）
适用样品 晶圆/陶瓷基板/医疗导管/传感器

 Nordson March AP600 Multi-Process Plasma System

Industry-Specific Applications

Sector Critical Process
Semiconductor Die attach pretreatment (↑50% adhesion)
Advanced Packaging Underfill void reduction (↓60%)
Medical Devices Biocompatible surface activation
MEMS Fabrication Photoresist residue removal

Technical Highlights

  1. Precision Gas Control:

    • Dual-MFC standard (Ar/O₂/H₂/He/fluorides)

    • Optional quad-MFC for complex gas blends

  2. Patented Plasma Modes:

    Mode Advantage
    Direct Plasma High-energy contaminant removal
    Downstream Plasma Non-ionizing treatment for delicate components

  3. Space-Saving Integration:

    • All-in-one design (footprint <1m²)

    • Modular fixtures for 3D medical implants

Specifications

Parameter Value
RF Generator 13.56 MHz ±0.1% (auto-tuning)
Base Pressure ≤1×10⁻² Torr
MFC Channels 2 standard (expandable to 4)
Control Interface 7" touchscreen + SPC export
Chamber Volume 60L
Sample Types Wafers/IMBs/Catheters/Bio-sensors


粤公网安备 44030702002241号